日本半导体关键原料大厂关东电化，旗下位于群马的的三氟化氮生产设施上周发生火警，造成1死1重伤的严重意外，确切事故原因与损失仍待进一步调查。由于三氟化氮为半导体制造的关键气体，且关东电化为台积电、三星、美光及多家日商的合作伙伴，市场担忧半导体供应链稳定受到威胁。

综合外媒报导，火警造成该工厂两条生产线其中一条毁损，当局已经暂停该厂营运，由于关东电化囊括日本90%的三氟化氮市占率，且修复受损设施到恢复出货可能需要数个月时间，目前各大厂商积极寻求替代选项，日本政府也打算扩大从韩国进口弥补供应缺口。

三氟化氮是清洁半导体制造设备清洁与蚀刻制程的重要气体，且三氟化氮供应骤降也会影响制造六氟化钨，六氟化钨同样是半导体制造重要气体，后续可能引发成本上升的连锁效应，甚至出现断链风险。

台积电、三星、美光是关东电户重要客户，日本铠侠、索尼和Rapidus也都使用关东电化的产品，目前台积电并未说明此事冲击，熊本厂是主要与关东电化合作的厂区。

日本媒体特别关注Rapidus的状况，因为该公司高度依赖关东电化提供原料，知情人士透露，Rapidus正在积极寻求替代厂商，力求不影响营运；铠侠预估第三季生产不受影响，目前库存充足且供应商多元。

过去三井化学也是提供三氟化氮的大厂，但受到成本上升及激烈的价格竞争，预计在2026年3月停止供应三氟化氮，关东电化的影响力将逐渐扩大。